Грибенюков А. И. , Кузнецов В. С. , Антипов О. Л. , Подзывалов С. Н. , Кальсин А. Ю. , Габдрахманов А. Ш. , Зиновьев М. М. , Слюнько Е. С. , Баалбаки Х., Кулеш М. М. , Юдин Н. Н. , Лысенко А. Б. «Ионная очистка поверхностей Ge-подложек перед ионно-лучевым напылением тонких пленок» // Известия вузов. Физика 2025. №1 C.90-99
Вы можете добавить статью